全て幅30.5mmで統一してラインナップしました。複数台並べて設置しても場所を取りません。
また、バルブと組み合わせたユニットの提案も可能で、装置の省スペース化に貢献します。
例:流量コントローラーとバルブを組み合わせたインライン薬液混合ユニット
PCで利用可能な専用オペレーションソフトをご用意しております。オペレーションソフトは充実の機能を搭載しており、様々な操作をPCから行うことができます。
PCとの接続は、オプション品の通信ケーブルで繋ぐだけの、かんたん接続です。
流量計に超音波流量計を採用した流量コントローラーです。超音波流量計を採用したことにより、圧損の低減、広い流量制御範囲を実現しました。
CC-Link、Оリングレス仕様
小型液体流量コントローラーZ2000シリーズの仕様を
そのままにCC-Link/Oリングレスに対応しました。
Oリングレス化により更なるパーティクル低減化を実現
しました。
EtherCat、Оリングレス仕様
小型液体流量コントローラーZ2000シリーズの仕様を
そのままにEtheCat/Oリングレスに対応しました。
Oリングレス化により更なるパーティクル低減化を実現
しました。
差圧式流量計・モーターバルブ・コントローラーユニットを一体化した流量コントローラーです。
差圧式流量計を採用したことにより、気泡に強い特徴を持ちます。接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、耐薬品性・耐久性に優れています。
流量計を取り外したモーターバルブとコントロールユニットを組み合わせた製品です。装置側から流量をコントロールしたい時はこちらのタイプをご検討ください。
流量計に熱式流量計を採用したタイプです。熱式流量計を採用したことで1~25mL/minの微小領域のコントロールが可能になりました。
区分 | 接続サイズ | 流量範囲 | 型式 |
Z900M型 | 1/4" | 5~50mL/min | Z900M-1/4-03-AN531S |
20~200mL/min | Z900M-1/4-06-AN531S | ||
30~300mL/min | Z900M-1/4-07-AN531S | ||
50~500mL/min | Z900M-1/4-09-AN531S | ||
120~1200mL/min | Z900M-1/4-15-AN531S | ||
3/8" | 250~2500mL/min | Z900M-3/8-20-AN531S | |
1/2" | 600~6000mL/min | Z900-1/2-29-AN531S | |
Z2□00□型 | 1/4" | 5~100mL/min | Z2000-1/4-01S |
15~300mL/min | Z2000-1/4-02S | ||
50~1000mL/min | Z2000-1/4-03S | ||
3/8" | 100~2000mL/min | Z2000-3/8-04S | |
200~4000mL/min | Z2000-3/8-05S | ||
200~6000mL/min | Z2000-3/8-05HS | ||
1/2" | 1500~15000mL/min |
Z2000-1/2-06S |
|
ZⅢ型
|
1/4" | MAX 300mL/min | ZⅢ-1/4-01A |
MAX 2L/min | ZⅢ-1/4-03A | ||
3/8" | MAX 6L/min | ZⅢ-3/8-04A | |
1/2" | MAX 15L/min | ZⅢ-1/2-05A | |
Z3000型 | 1/8" | 1~25mL/min | Z3000-1/8P300P-25 |
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