EtherCAT、Оリングレス仕様
小型液体流量コントローラーZ2000シリーズの仕様は
そのままにEtherCAT/Oリングレスに対応しました。
Oリングレス化により更なるパーティクル低減化を実現
しました。
・フラット形状のバルブを採用し、ボディーとの接触に
よるパーティクル発生を低減しました。
・バルブ/ボディーの接触を制限してパーティクル発生
を低減するスローリーク機能を有しています。
(特許取得済み)
・エアオペレート操作タイプです。
・接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、
耐薬品性・耐久性に優れています。
・フラット形状のバルブを採用し、
ボディーとの接触によるパーティクル発生を
低減しました。
・フラット形状のバルブを使用しながら、
高分解能な流量調整が可能です。(特許取得済み)