セミコンダクター

お客様にご満足いただける薬液供給のトータルコディネートをご提案します。究極の液ダレ防止コネクターにより、安全性を実現しました。

それぞれの薬品の用途や使用方法･使用目的により、コネクターを容器別に自由に選択することができます。

エレクトロニクス、スパッタリングによるセンサー薄膜技術、フッ素樹脂の薄膜技術、ケミカルの基礎技術と半導体プロセスで培った耐薬品性、耐リーク性、パーティクルの低減などの技術を応用しました。

高性能かつ高耐食性のある小型の圧力センサーと圧力ゲージをご提案します。

さまざまなプロセスにおける液体の流量を計測することが可能です。

お客様の使用用途・流量範囲に応じた最適な流量計をご提案します。

差圧式、超音波式、熱式といった多彩な計測方法により、幅広い流量レンジを取り揃え、さまざまな用途に応じて使用することができます。高精度かつ省スペース設計でさまざまなプロセスにあったご提案ができます。

マニュアルタイプもしくはエアオペレートタイプで定圧制御、減圧制御を行うことが可能です。

小流量から大流量まで、多様なラインナップを用意しております。使用流体は常温から高温（180℃）まで対応可能です。

ダイアフラムタイプのバルブです。

モメンタリータイプやエアオペレートタイプ、ノズル先端の液だれを防ぐサックバックバルブをラインナップしています。

オリフィス径が大きく、圧力損失の少ない切替バルブや、小型のイナートバルブをラインナップしています。

流量を調整するためのニードルバルブです。

特殊スプリングを採用したチェックバルブ、リリーフバルブです。

フッ素樹脂製の小型の配管継手です。